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标题
Silicon laser dicing with picosecond pulses at 2-µm wavelength
网址
DOI
10.1117/12.2579333 doi
其它 期刊:Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXVI
作者:Markus Blothe; Maxime Chambonneau; Tobias Heuermann; Martin Gebhardt; Jens Limpert; et al
出版日期:2021
求助人
jenninelzl 在 2026-04-12 16:03:17 发布自北京,悬赏 20 积分
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  • 6个月前,求助关闭

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  • 6个月前

    jenninelzl jenninelzl Lv3 求助人 发起了本次求助

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