Silicon laser dicing with picosecond pulses at 2-µm wavelength

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标题	Silicon laser dicing with picosecond pulses at 2-µm wavelength
网址	https://doi.org/10.1117/12.2579333
DOI	10.1117/12.2579333 doi
其它	期刊：Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXVI 作者：Markus Blothe; Maxime Chambonneau; Tobias Heuermann; Martin Gebhardt; Jens Limpert; et al 出版日期：2021
求助人	jenninelzl 在 2026-04-12 16:03:17 发布自北京，悬赏 20 积分
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