Etching characteristics of tungsten and tungsten compounds by energetic fluorocarbon and argon ions

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标题	Etching characteristics of tungsten and tungsten compounds by energetic fluorocarbon and argon ions
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004658
DOI	10.1116/6.0004658 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Hojun Kang; Shunta Kawabata; Tomoko Ito; Song-Yun Kang; Dongkyu Lee; et al 出版日期：2025
求助人	daoketuo 在 2026-04-14 14:23:51 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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