Macro and micro-nano machining mechanism for ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing of sapphire

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标题	Macro and micro-nano machining mechanism for ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing of sapphire 相关领域蓝宝石化学机械平面化材料科学抛光表面完整性机械加工表面粗糙度研磨磨料复合材料 X射线光电子能谱表面光洁度光电子学光学冶金化学工程激光器工程类物理
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158343
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.158343 doi
求助人	开朗的傲玉在 2026-06-01 15:00:13 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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