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Macro and micro-nano machining mechanism for ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing of sapphire

蓝宝石化学机械平面化材料科学抛光表面完整性机械加工表面粗糙度研磨磨料复合材料 X射线光电子能谱表面光洁度光电子学光学冶金化学工程激光器工程类物理

作者

Mufang Zhou,Yuanyao Cheng,Min Zhong,Wenhu Xu

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2023-08-31 卷期号：640: 158343-158343 被引量：46

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2023.158343

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