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标题
Atomic Layer Etching of HfO 2 and ZrO 2 Using NbF 5 and TiCl 4 in High-Aspect-Ratio Three-Dimensional Nanohole Structures
网址
http://dx.doi.org/10.1021/acs.chemmater.5c02705
DOI
10.1021/acs.chemmater.5c02705 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Boyun Choi; Getasew Mulualem Zewdie; Hyeyoung Shin; Nari Jeon
出版日期：2026-01-13
求助人
欢喜竺 在 2026-09-15 17:44:49 发布自山西，悬赏 10 积分
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    欢喜竺 欢喜竺 Lv11 求助人 发起了本次求助

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