Understanding the effect of pulsed power delivery modes on reactive sputter deposition process and coating properties through experimental and plasma simulation studies

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标题	Understanding the effect of pulsed power delivery modes on reactive sputter deposition process and coating properties through experimental and plasma simulation studies
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789722...
DOI	10.1016/j.surfcoat.2025.131975 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Gayatri Rane; Adam Obrusník; Martin Kubečka; Kristína Tomanková; Philipp Dürrenfeld; et al 出版日期：2025-02-27
求助人	yy 在 2026-08-21 17:22:43 发布自江苏，悬赏 10 积分
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American Society of Mechanical Engineers (ASME)

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