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标题
Thickness scaling down to 5 nm of ferroelectric ScAlN on CMOS compatible molybdenum grown by molecular beam epitaxy
网址
https://doi.org/10.1063/5.0136265
DOI
10.1063/5.0136265 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Ding Wang; Ping Wang; Shubham Mondal; Mingtao Hu; Danhao Wang; et al
出版日期：2023-01-30
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Sz1 在 2026-07-14 18:17:19 发布自北京，悬赏 10 积分
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