Interfacial bonding evolution and atomic-scale removal mechanisms in chemical mechanical polishing of single-crystal diamond: A molecular dynamics study - 科研通

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标题	Interfacial bonding evolution and atomic-scale removal mechanisms in chemical mechanical polishing of single-crystal diamond: A molecular dynamics study
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S014163592...
DOI	10.1016/j.precisioneng.2026.04.026 doi
其它	期刊：Precision engineering 作者：Liaoyuan Wang; Tianxiang Feng; Yuli Sun; Z. Xiao; Yuhong Liu 出版日期：2026-08-01
求助人	感动的听荷在 2026-07-17 18:38:41 发布自吉林，悬赏 10 积分
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