Performance and reliability of beam-delivery unit for advanced lithography

求助中

文献求助详情

标题	Performance and reliability of beam-delivery unit for advanced lithography
网址	http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?do...
DOI	10.1117/12.562366 doi
其它	期刊：SPIE Proceedings 作者：Jason Pan; John Viatella; Palash P. Das; Yasushi Yamasaki 出版日期：2004-07-21
求助人	超级凡旋在 2026-08-26 14:49:17 发布自广东，悬赏 20 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
8小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

14:49:19 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

14:49:17 科研通AI机器人（英国伦敦）收到请求，开始寻找文献

14:49:17 已向机器人发送请求
8小时前

超级凡旋 Lv11 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Jasper的应助被小珂采纳，获得10

1秒前; Akim上传了应助文件

1秒前; 爆米花上传了应助文件

1秒前; Criminology34上传了应助文件

1秒前; 不如无言发布了新的文献求助10

3秒前; kk发布了新的文献求助10

3秒前; 卿卿发布了新的文献求助10

4秒前; mojomars发布了新的文献求助10

4秒前; liva发布了新的文献求助10

6秒前; 万海波完成签到，获得积分20

9秒前; 科研通AI6.4的应助被lc采纳，获得10

10秒前; Zmg完成签到，获得积分10

11秒前; 乐乐上传了应助文件

11秒前; 今后上传了应助文件

11秒前; QYQ完成签到，获得积分10

11秒前; 大模型上传了应助文件

13秒前; 英姑的应助被mojomars采纳，获得10

13秒前; 小马甲的应助被Running采纳，获得10

14秒前; 共享精神的应助被失约于月光采纳，获得30

14秒前; 干净的巨人发布了新的文献求助10

16秒前; 瑾栀完成签到，获得积分10

16秒前; CodeCraft上传了应助文件

16秒前; 123发布了新的文献求助10

16秒前; 无花果上传了应助文件

17秒前; liva发布了新的文献求助10

17秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

18秒前; Eurus发布了新的文献求助10

20秒前; 小白完成签到，获得积分10

20秒前; 奋斗安筠发布了新的文献求助10

21秒前; 呜歪呜歪驳回了可爱的函函的应助

21秒前; liva发布了新的文献求助10

23秒前; Elia完成签到，获得积分10

24秒前; 完美归尘完成签到，获得积分10

26秒前; cdercder的应助被薛洋采纳，获得10

26秒前; wangwangxiao完成签到，获得积分10

27秒前; 英俊的铭的应助被大海采纳，获得10

31秒前; 逢投必中完成签到，获得积分10

31秒前; kk完成签到，获得积分20

31秒前; dd完成签到，获得积分10

32秒前; 陈惠卿88完成签到，获得积分10

32秒前