Increasing bushing temperature via a heating tube for performance enhancement of ion implanters - 科研通

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标题	Increasing bushing temperature via a heating tube for performance enhancement of ion implanters
网址	https://doi.org/10.1016/j.ijheatfluidflow.2025.110214
DOI	10.1016/j.ijheatfluidflow.2025.110214 doi
其它	期刊：International Journal of Heat and Fluid Flow 作者：Yong-Ju Shin; Hyo Jun Sim; Jong Jin Hwang; Seung Jae Moon 出版日期：2025-12-24
求助人	nabla 在 2026-08-10 16:47:04 发布自湖北，悬赏 10 积分
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