Anisotropic deformation of 4H-SiC wafers: insights from nanoindentation tests

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标题	Anisotropic deformation of 4H-SiC wafers: insights from nanoindentation tests
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/ac9535
DOI	10.1088/1361-6463/ac9535 doi
求助人	王子建在 2026-08-03 15:32:19 发布自上海，悬赏 10 积分
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