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标题
Semiconductor WO3 thin films deposited by pulsed reactive magnetron sputtering
脉冲反应性磁溅镀法沉积半导体WO3薄膜
相关领域
材料科学 溅射 半导体 光电子学 薄膜 溅射沉积 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 工程物理 纳米技术 工程类
网址
DOI
10.1016/j.mssp.2024.109034 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Aneta Písaříková; Hana Krýsová; Anna Kapran; P. Písařík; Martin Čada; et al
出版日期:2024-11-02
求助人
chang 在 2025-07-13 15:25:52 发布自河南,悬赏 10 积分
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