Fluorocarbon high density plasmas. VII. Investigation of selective SiO2-to-Si3N4 high density plasma etch processes

已完结

文献求助详情

标题	Fluorocarbon high density plasmas. VII. Investigation of selective SiO2-to-Si3N4 high density plasma etch processes 碳氟化合物高密度等离子体。VII.选择性SiO2-Si3N4高密度等离子体刻蚀工艺的研究相关领域氟碳化合物 X射线光电子能谱氟等离子体化学选择性蚀刻（微加工）分析化学（期刊）氢等离子体刻蚀化学工程有机化学工程类物理图层（电子）量子力学催化作用
网址	https://doi.org/10.1116/1.580091
DOI	10.1116/1.580091 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Ying Zhang; G. S. Oehrlein; F. H. Bell 出版日期：1996-07-01
求助人	huangcong 在 2025-04-10 14:08:21 发布自荷兰，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 张张不想长大完成签到，获得积分10

刚刚; 丘比特的应助被Uu采纳，获得10

1秒前; 何海发布了新的文献求助30

1秒前; bmhs2017上传了应助文件

1秒前; 492754592发布了新的文献求助10

2秒前; 邓飞飞完成签到，获得积分10

2秒前; 冷傲的钥匙完成签到，获得积分20

2秒前; 天真珈百璃发布了新的文献求助10

3秒前; 科研通AI6的应助被Zhou采纳，获得10

5秒前; 李健上传了应助文件

5秒前; 万能图书馆的应助被机智的黑猫采纳，获得10

6秒前; 何海完成签到，获得积分20

6秒前; 田様的应助被lemon采纳，获得10

6秒前; 领导范儿上传了应助文件

7秒前; 可爱的函函上传了应助文件

8秒前; Nnn完成签到，获得积分10

9秒前; Kototo发布了新的文献求助10

9秒前; 浮游上传了应助文件

10秒前; 阿梨发布了新的文献求助10

10秒前; 陈末上传了应助文件

11秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

11秒前; 鹅鹅完成签到，获得积分10

11秒前; 大模型上传了应助文件

12秒前; 斯文念波发布了新的文献求助10

13秒前; SciGPT的应助被叶成会采纳，获得10

13秒前; 情怀上传了应助文件

14秒前; 要减肥含灵发布了新的文献求助10

14秒前; 激昂的青雪完成签到，获得积分10

14秒前; 共享精神的应助被童幻香采纳，获得10

14秒前; 科研民工完成签到，获得积分10

15秒前; zm发布了新的文献求助10

15秒前; lejunia完成签到，获得积分10

15秒前; 未来科研栋梁之材完成签到，获得积分10

16秒前; 酷波er的应助被yibo采纳，获得10

16秒前; 斯文败类的应助被可乐土豆饼采纳，获得10

16秒前; spzdss完成签到，获得积分10

17秒前; 慕青的应助被mao采纳，获得10

18秒前; 火星上的向彤发布了新的文献求助10

18秒前; Kototo完成签到，获得积分10

19秒前; 动听的弼完成签到，获得积分10

19秒前