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A review of rare-earth oxide films as high k dielectrics in MOS devices — Commemorating the 100th anniversary of the birth of Academician Guangxian Xu 相关领域
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期刊:Journal of Rare Earths 作者:Shuan Li; Youyu Lin; Siyao Tang; Lili Feng; Xingguo Li 出版日期:2020-10-27 |
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