发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
A holistic approach of EUV mask inspection, defect classification, and disposition for 2nm logic manufacturing
相关领域
计算机科学 极紫外光刻 工程类 性情 电子工程 工程制图 机械工程 电流模式逻辑 材料科学 可制造性设计
网址
https://doi.org/10.1117/12.3073220
DOI
10.1117/12.3073220 doi
其它 期刊：Photomask Technology 2025
作者：Ya-Chien Chang; Yenlin Chen; Kosuke Ito; Xinya Liu; Lu Yu; et al
出版日期：2025-09-24
求助人
zhull 在 2025-11-28 14:06:44 发布自北京，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

    当前有 1 位研友正在围观本求助： zhull zhull

  • 45分钟前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    14:06:48 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    14:06:45 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献
    14:06:44 已向机器人发送请求

  • 45分钟前

    zhull zhull Lv11 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
ruilong完成签到，获得积分10
1秒前
1秒前
1秒前
1秒前
硕shuo完成签到，获得积分10
1秒前
2秒前
赘婿的应助被喜悦采纳，获得10
2秒前
2秒前
Owen的应助被sunianjinshi采纳，获得10
2秒前
ruqinmq发布了新的文献求助10
3秒前
研友_qZ6V1Z完成签到，获得积分10
4秒前
共享精神的应助被yzn采纳，获得30
4秒前
哈哈哈完成签到 ，获得积分10
4秒前
科研通AI6的应助被11采纳，获得10
4秒前
刻苦蚂蚁发布了新的文献求助10
4秒前
5秒前
车窗外发布了新的文献求助10
5秒前
科研通AI6的应助被lxp采纳，获得10
5秒前
zll发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
6秒前
Henvy发布了新的文献求助20
6秒前
7秒前
蓬蒿人完成签到，获得积分10
7秒前
8秒前
8秒前
8秒前
JamesPei的应助被ShiningL采纳，获得10
10秒前
10秒前
10秒前
小二郎的应助被快乐秋柔采纳，获得10
10秒前
liuhuanghuai发布了新的文献求助10
11秒前
11秒前
Buddhist发布了新的文献求助10
11秒前
九城完成签到，获得积分10
12秒前
12秒前
张因为完成签到，获得积分10
13秒前
13秒前
王恩惠完成签到，获得积分10
13秒前
我是老大的应助被朋克采纳，获得10
13秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Bandwidth Choice for Bias Estimators in Dynamic Nonlinear Panel Models 2000
HIGH DYNAMIC RANGE CMOS IMAGE SENSORS FOR LOW LIGHT APPLICATIONS 1500
茶艺师试题库（初级、中级、高级、技师、高级技师） 1000
Constitutional and Administrative Law 1000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.). Frederic G. Reamer 800
Vertebrate Palaeontology, 5th Edition 560
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5361218
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4491557
关于积分的说明 13982932
捐赠科研通 4394291
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2413865
邀请新用户注册赠送积分活动 1406725
关于科研通互助平台的介绍 1381258
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通