Microstructure and mechanical properties of Cr–Si–N coatings prepared by pulsed reactive dual magnetron sputtering

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标题	Microstructure and mechanical properties of Cr–Si–N coatings prepared by pulsed reactive dual magnetron sputtering 脉冲反应双磁控溅射制备Cr-Si-N涂层的组织和力学性能相关领域材料科学微观结构溅射沉积粒度硬化（计算）压痕硬度溅射分析化学（期刊）复合材料纳米复合材料腔磁控管薄膜冶金纳米技术化学色谱法图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2008.02.014 AI链接 polymtl.cadoi.org
DOI	10.1016/j.surfcoat.2008.02.014 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：M. Benkahoul; Pourzal Robin; S. C. Gujrathi; L. Martinů; J.E. Klemberg-Sapieha 出版日期：2008-03-05
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