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标题
Laser damage and evolution law of scratches on fused silica in etching
熔融石英刻蚀中划痕的激光损伤及演化规律
相关领域
刮擦 蚀刻(微加工) 材料科学 激光器 各向同性腐蚀 辐射 辐射损伤 辐照 复合材料 光学 光电子学 图层(电子) 物理 核物理学
网址
DOI
10.1117/12.2575700 doi
其它 期刊:
作者:Xiangyang Lei; Nan Zheng; Xianhua Chen; Lian Zhou; Xipeng Xu; et al
出版日期:2020-11-05
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