Atomic Layer Deposition of Silicon Dioxide Using Aminosilanes Di-sec-butylaminosilane and Bis(tert-butylamino)silane with Ozone

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标题	Atomic Layer Deposition of Silicon Dioxide Using Aminosilanes Di-sec-butylaminosilane and Bis(tert-butylamino)silane with Ozone
网址	https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acs.jpcc.6b01803
DOI	10.1021/acs.jpcc.6b01803 doi
其它	期刊：The Journal of Physical Chemistry C 作者：Luis Fabián Peña; Charith E. Nanayakkara; Anupama Mallikarjunan; Haripin Chandra; Manchao Xiao; et al 出版日期：2016-05-04
求助人	刻苦的安阳在 2026-05-18 15:57:10 发布自安徽，悬赏 10 积分
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