Zirconium and/or cerium-containing mesoporous silica as functional active abrasive particles for radical-facilitated chemical mechanical polishing

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标题	Zirconium and/or cerium-containing mesoporous silica as functional active abrasive particles for radical-facilitated chemical mechanical polishing
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2024.178090
DOI	10.1016/j.jallcom.2024.178090 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Zichen Tang; Yang Chen; Wenjin Zhou; Luning Zhong; Ailian Chen 出版日期：2025
求助人	Rukia 在 2026-03-23 20:45:40 发布自湖北，悬赏 10 积分
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