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 Reduction of Leakage Current and Enhancement of Dielectric Properties of Rutile-TiO2 Film Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 等离子体增强原子层沉积金红石-TiO2薄膜漏电流的降低和介电性能的增强
相关领域
原子层沉积
金红石
材料科学
等离子体
图层（电子）
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沉积物
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期刊：Korean Journal of Materials Research 作者：Su Min Eun; Ji Hyeon Hwang; Byung Joon Choi 出版日期：2024-06-27 |
| 求助人 |
大安吉
在
2025-08-04 23:58:34 发布，悬赏 10 积分
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