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  Reduction of Leakage Current and Enhancement of Dielectric Properties of Rutile-TiO2 Film Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 等离子体增强原子层沉积金红石-TiO2薄膜漏电流的降低和介电性能的增强
相关领域
原子层沉积
金红石
材料科学
等离子体
图层（电子）
电介质
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光电子学
电流（流体）
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期刊：Korean Journal of Materials Research 作者：Su Min Eun; Ji Hyeon Hwang; Byung Joon Choi 出版日期：2024-06-27 |
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(2025-6-4)
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