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标题
Etching Technologies in Semiconductor Manufacturing: A Short Review
半导体制造中的蚀刻技术综述
相关领域
蚀刻(微加工) 半导体器件制造 半导体 材料科学 光电子学 工程物理 纳米技术 工程类 薄脆饼 图层(电子)
网址
DOI
10.1007/978-3-031-73816-6_36 doi
其它 期刊:Advances in science, technology & innovation
作者:S. S. Mahtab; Rapsan Amin Anonto; Tanmay Talukder; Ahamed Raihan; Inzamamul Islam
出版日期:2025-01-01
求助人
炫哥IRIS 在 2025-07-19 09:36:13 发布自中国台湾,悬赏 10 积分
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