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 Electro-Thermal Performance Boosting in Stacked Si Gate-all-Around Nanosheet FET With Engineered Source/Drain Contacts 具有工程源极/漏极接触的堆叠硅栅全周纳米片场效应晶体管的电热性能提升
相关领域
纳米片
材料科学
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热力学
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