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 Bio-Inspired Involute Groove Pad Textures for Enhanced Material Removal and Surface Quality in Sic Chemical Mechanical Polishing 生物启发的渐开线槽垫纹理，用于增强SiC化学机械抛光中的材料去除和表面质量
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期刊： 作者：Jintao Song; Jizhuang Hui; Lei Guo; Lei Lv; Xiaohui Liu; et al 出版日期：2025-01-01 |
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