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Force-balancing microforce sensor with an optical-fiber interferometer 基于光纤干涉仪的力平衡微力传感器
相关领域
悬臂梁
非接触原子力显微镜
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光学
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期刊:Review of Scientific Instruments 作者:Nobuhiro Kato; Ippei Suzuki; Hisao Kikuta; Koichi Iwata 出版日期:2002-07-26 |
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