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  A Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Using Piston-Like Membrane Motion 一种基于活塞式膜运动的压电微机械超声换能器
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Tao Wang; Renshi Sawada; Chengkuo Lee 出版日期：2015-07-21 |
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