Bias-Assisted Photochemical Planarization of GaN(0001) Substrate with Damage Layer

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标题	Bias-Assisted Photochemical Planarization of GaN(0001) Substrate with Damage Layer
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.7567/JJAP.52.036504
DOI	10.7567/jjap.52.036504 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Shun Sadakuni; Junji Murata; Yasuhisa Sano; Keita Yagi; Satoshi Matsuyama; et al 出版日期：2013-03-02
求助人	谦让的秀在 2026-11-04 11:03:32 发布自上海，悬赏 10 积分
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