Demonstration of Conformal MoS2 on High-Aspect-Ratio Structures up to 40:1 and Exploration of Manufacturability in a 300mm Fab for 3D NAND applications - 科研通

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标题	Demonstration of Conformal MoS2 on High-Aspect-Ratio Structures up to 40:1 and Exploration of Manufacturability in a 300mm Fab for 3D NAND applications
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11026918/11026883/110269...
DOI	10.1109/imw61990.2025.11026929 doi
其它	期刊：International Memory Workshop 作者：Hao-Ling Tang; K. Wong; Minrui Yu; Jason Appell; Pei Liu; et al 出版日期：2025-05-18
求助人	zcr 在 2026-09-23 16:00:11 发布自北京，悬赏 10 积分
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