Deposition of silicon oxide coatings by atmospheric pressure plasma jet for oxygen diffusion barrier applications

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标题	Deposition of silicon oxide coatings by atmospheric pressure plasma jet for oxygen diffusion barrier applications
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060901...
DOI	10.1016/j.tsf.2016.06.042 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Haitao Zhang; Zheng Guo; Qiang Chen; Xinwei Wang; Zhengduo Wang; et al 出版日期：2016-06-26
求助人	王佳豪在 2026-10-02 15:04:18 发布自浙江，悬赏 10 积分
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