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 Fabrication of photonic crystals in silicon-on-insulator using 248-nm deep UV lithography 相关领域
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期刊：IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 作者：W. Bogaerts; V. Wiaux; D. Taillaert; S. Beckx; B. Luyssaert; et al 出版日期：2002-07-01 |
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