Mitigate slit position dependent cd variation with source optimization

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标题	Mitigate slit position dependent cd variation with source optimization
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3108584
DOI	10.1117/12.3108584 doi
其它	期刊：Optical and EUV Nanolithography XXXIX 作者：Po-Kai Chang; Chaowei Huang; Peichen Yu 出版日期：2026-04-10
求助人	蓝天在 2026-08-04 20:09:06 发布自山东，悬赏 20 积分
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Institute for Operations Research and the Management Sciences

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