Quasi-anisotropic wet etching of glass creates inclined microstructures for advanced optical and MEMS devices

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标题	Quasi-anisotropic wet etching of glass creates inclined microstructures for advanced optical and MEMS devices
网址	https://www.nature.com/articles/s41378-025-01047-6.pdf
DOI	10.1038/s41378-025-01047-6 doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Jiajia Yu; Feier Li; Hao Sun; Yike Zhu; Yukun Shi; et al 出版日期：2026-01-08
求助人	英勇的双双在 2026-07-19 17:58:00 发布自浙江，悬赏 10 积分
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