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标题
Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films by high density plasma etching
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060900...
DOI
10.1016/j.tsf.2004.03.025 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Youngsoo Song; Jung Woo Kim; C. Chung
出版日期：2004-11-22
求助人
Su 在 2026-08-28 15:53:01 发布自湖北，悬赏 10 积分
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  • 14天前，求助关闭

    Su Su Lv1 求助人 关闭了本次求助。

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  • 14天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

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  • 14天前

    Su Su Lv1 求助人 发起了本次求助

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