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 High-resolution electron beam lithography for the fabrication of high-density dielectric metamaterials 用于制造高密度介电超材料的高分辨率电子束光刻
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期刊：Thin Solid Films 作者：W. Zhang; A. Potts; Darren M. Bagnall; B. R. Davidson 出版日期：2006-10-21 |
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