Comprehensive physics-based breakdown model for reliability assessment of oxides with thickness ranging from 1 nm up to 12 nm

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标题	Comprehensive physics-based breakdown model for reliability assessment of oxides with thickness ranging from 1 nm up to 12 nm
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/5164157/5173200/05173335...
DOI	10.1109/irps.2009.5173335 doi
其它	期刊：2009 IEEE International Reliability Physics Symposium 作者：Ernest Y. Wu; Jordi Sune; Rolf-Peter Vollertsen 出版日期：2009-07-28
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