Compact spatial phase-shifting quadrature detection for nanometer displacement measurement

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标题	Compact spatial phase-shifting quadrature detection for nanometer displacement measurement
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S088832702...
DOI	10.1016/j.ymssp.2026.114425 doi
其它	期刊：Mechanical Systems and Signal Processing 作者：Zhiqiang Chen; Zhenghui Zhang; Guobo Zhao; Niming Peng; Baigen Chen; et al 出版日期：2026-05-19
求助人	JayWu 在 2026-10-13 15:33:52 发布自北京，悬赏 10 积分
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