Design and Wafer-Level Fabrication of Wireless Passive LC Pressure Sensors via Micro-Casting Technique for Biomedical Applications

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标题	Design and Wafer-Level Fabrication of Wireless Passive LC Pressure Sensors via Micro-Casting Technique for Biomedical Applications
网址	http://dx.doi.org/10.1109/mems64181.2026.11419582
DOI	10.1109/mems64181.2026.11419582 doi
其它	期刊：2026 IEEE 39th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者：Pichao Pan; Li Wang; Jiebin Gu; Zhaohui Qiu; Xinxin Li 出版日期：2026-01-25
求助人	英吉利25 在 2026-10-10 11:13:41 发布自天津，悬赏 10 积分
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