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 Using Machine Learning Methods to Predict the Magnitude and the Direction of Mask Fragments Displacement in Optical Proximity Correction (OPC) 利用机器学习方法预测光学邻近校正（OPC）中掩模碎片位移的大小和方向
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期刊：Optical Memory and Neural Networks 作者：P. E. Tryasoguzov; A. V. Kuzovkov; I. M. Karandashev; G. S. Teplov 出版日期：2021-10-01 |
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