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  Silicon-Based Suspended Microchannel Resonator Developed Using Au Thermal Diffusion Bonding for Mass Sensing of Biomaterials 用于生物材料质量传感的金热扩散键合硅基悬浮微通道谐振器
相关领域
微通道
谐振器
硅
绝缘体上的硅
材料科学
制作
热的
光电子学
扩散
扩散焊
纳米技术
复合材料
物理
热力学
病理
医学
替代医学
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| 其它 |
期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Keita Funayama; Atsushi Miura; Fumihito Arai; Hiroya Tanaka 出版日期：2024-01-22 |
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