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标题
Mask-free construction of three-dimensional silicon structures by dry etching assisted gray-scale femtosecond laser direct writing
干法刻蚀辅助灰度飞秒激光直写无掩膜构建三维硅结构
相关领域
干法蚀刻 薄脆饼 硅 材料科学 蚀刻（微加工） 飞秒 微电子机械系统 制作 微电子 光电子学 反应离子刻蚀 激光器 混合硅激光器 光学 激光扫描 纳米技术 病理 替代医学 物理 医学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1063/1.4977562
DOI
10.1063/1.4977562 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Xueqing Liu; Lei Yu; Qi‐Dai Chen; Hong‐Bo Sun
出版日期：2017-02-27
求助人
鲨鱼先生 在 2025-08-05 14:58:28 发布自北京，悬赏 10 积分
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