发布文献求助
已关闭
  • 文献求助详情
标题
Sidewall damage repair of GaN-based Micro-LED by combination of atomic layer etching and atomic layer deposition
相关领域
蚀刻（微加工） 材料科学 悬空债券 钝化 原子层沉积 图层（电子） 光电子学 沉积（地质） 干法蚀刻 反应离子刻蚀 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 抵抗 感应耦合等离子体 各向同性腐蚀 纳米技术 分析化学（期刊） 二极管 等离子体刻蚀 复合材料 异质结
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3116375
DOI
10.1117/12.3116375 doi
其它 期刊：Third International Conference on Optoelectronic Information and Optical Engineering (OIOE 2026)
作者：Yang Chen; Weiwen Yuan; Feng Xu; Ti Sun; Bing Cao
出版日期：2026-06-05
求助人
MMMMMa 在 2026-08-07 08:52:13 发布自江苏，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
求助 / 应助时间线

  • 2天前，求助关闭

    MMMMMa MMMMMa Lv47 求助人 关闭了本次求助。

    说明 已找到文献【积分已退回】

  • 2天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    08:52:19 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    08:52:15 科研通AI机器人（美国 洛杉矶）收到请求，开始寻找文献
    08:52:13 已向机器人发送请求

  • 2天前

    MMMMMa MMMMMa Lv47 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
找文献发布了新的文献求助20
2秒前
2秒前
Hum6le完成签到，获得积分10
5秒前
核桃发布了新的文献求助30
7秒前
Hello的应助被xiaosun采纳，获得10
8秒前
脑洞疼的应助被时笙采纳，获得10
11秒前
科研通AI6.2的应助被kent采纳，获得30
12秒前
山野完成签到，获得积分10
13秒前
13秒前
一口南瓜饼完成签到，获得积分10
13秒前
15秒前
坤坤发布了新的文献求助10
16秒前
Zoro完成签到，获得积分10
17秒前
情怀的应助被忧虑的代容采纳，获得30
18秒前
19秒前
20秒前
20秒前
哈哈悦完成签到，获得积分10
21秒前
怡然的烤鸡完成签到，获得积分10
22秒前
科研通AI6.2的应助被DONGDONG采纳，获得10
22秒前
23秒前
微瑕发布了新的文献求助10
25秒前
刘鑫慧发布了新的文献求助10
27秒前
27秒前
wanci的应助被M1AO采纳，获得10
27秒前
勤劳鼠标发布了新的文献求助10
28秒前
28秒前
舒心雨柏发布了新的文献求助10
29秒前
矛盾空间发布了新的文献求助10
29秒前
12发布了新的文献求助10
30秒前
32秒前
奋斗老鼠发布了新的文献求助10
32秒前
潇洒宛筠完成签到 ，获得积分10
33秒前
34秒前
35秒前
DONGDONG发布了新的文献求助10
35秒前
35秒前
36秒前
37秒前
W~舞完成签到，获得积分10
37秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Markov Chain Monte Carlo 5000
Weaponeering: An Introduction Fourth Edition, Volume 1 1000
Advanced Weaponeering Fourth Edition, Volume 2 1000
Evidence Summary. Injection (subcutaneous):op- timal administration 1000
悉尼大学博士学位论文，题目：Modelling and testing of one-sided stitched laminated composites. 作者：Kristopher P. Plain 700
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 610
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7494550
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9085943
关于积分的说明 19378120
捐赠科研通 7106365
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3249764
关于科研通互助平台的介绍 2419161
邀请新用户注册赠送积分活动 2235473
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通