A review of ultra-short pulse laser micromachining of wide bandgap semiconductor materials: SiC and GaN

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标题	A review of ultra-short pulse laser micromachining of wide bandgap semiconductor materials: SiC and GaN
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980012...
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108559 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Keran Jiang; Peilei Zhang; Shijie Song; Tianzhu Sun; Yu Chen; et al 出版日期：2024-05-28
求助人	keyan 在 2026-09-04 11:32:06 发布自中国，悬赏 10 积分
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