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 Thermodynamic Analysis of Stoichiometric Composition Changes in the TixOy Films at RF Magnetron Sputtering and Modeling of Their Conductivity 射频磁控溅射TixOy薄膜化学计量组成变化的热力学分析及其电导率模拟
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期刊：physica status solidi (b) 作者：Sergey V. Bulyarskiy; Daria A. Koiva; G. A. Rudakov; Georgy G. Gusarov 出版日期：2022-02-11 |
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