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标题
Thermodynamic Analysis of Stoichiometric Composition Changes in the TixOy Films at RF Magnetron Sputtering and Modeling of Their Conductivity
射频磁控溅射TixOy薄膜化学计量组成变化的热力学分析及其电导率模拟
相关领域
分压 电导率 化学计量学 溅射沉积 氧气 材料科学 一氧化碳 腔磁控管 分析化学（期刊） 氧化物 钛 溅射 吉布斯自由能 氧化钛 二氧化钛 电阻率和电导率 热力学 化学 物理化学 薄膜 冶金 纳米技术 有机化学 色谱法 物理 电气工程 工程类
网址
https://doi.org/10.1002/pssb.202100407
DOI
10.1002/pssb.202100407 doi
其它 期刊：physica status solidi (b)
作者：Sergey V. Bulyarskiy; Daria A. Koiva; G. A. Rudakov; Georgy G. Gusarov
出版日期：2022-02-11
求助人
xiaoxiao 在 2025-07-01 17:19:46 发布，悬赏 10 积分
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