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Growth and characterization of yttrium oxide films by reactive magnetron sputtering 反应磁控溅射氧化钇薄膜的生长及表征
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期刊:Thin Solid Films 作者:Jiaqi Zhu; Yuankun Zhu; Weixia Shen; Yongjie Wang; Jiecai Han; et al 出版日期:2011-01-14 |
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