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Growth and characterization of yttrium oxide films by reactive magnetron sputtering

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作者
Jiaqi Zhu,Yuankun Zhu,Weixia Shen,Yongjie Wang,Jiecai Han,Gui Yun Tian,Pei Lei,Bing Dai
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2011-01-14 卷期号：519 (15): 4894-4898 被引量：59
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2011.01.049
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