Optimal Cyclic Scheduling of Wafer-Residency-Time-Constrained Dual-Arm Cluster Tools by Configuring Processing Modules and Robot Waiting Time

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标题	Optimal Cyclic Scheduling of Wafer-Residency-Time-Constrained Dual-Arm Cluster Tools by Configuring Processing Modules and Robot Waiting Time
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/66/10119187/10036022.pdf...
DOI	10.1109/tsm.2023.3239198 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Jufeng Wang; Chunfeng Liu; MengChu Zhou; Tingting Leng; Aiiad Albeshri 出版日期：2023-02-04
求助人	李子恒在 2026-02-02 19:34:54 发布自湖北，悬赏 10 积分
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