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Improvement of the Yield during Crystal Growth of SiC by PVT by Proper Selection and Design of Hot Zone Isolation Components 相关领域
材料科学
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期刊:Materials Science Forum 作者:Sven Strüber; Jonas Ihle; Julian Zöcklein; Johannes Steiner; Peter J. Wellmann 出版日期:2025-09-04 |
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(2025-6-4)