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 High transmission pellicles for extreme ultraviolet lithography reticle protection 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Yashesh Shroff; Michael Leeson; Pei-yang Yan; Eric M. Gullikson; Farhad Salmassi 出版日期：2010-11-01 |
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