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 Temperature dependency of the kinetics of PureB CVD deposition over patterned Si/SiO2 surfaces 图案化Si/SiO2表面PureB CVD沉积动力学的温度依赖性
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：V. Mohammadi; Negin Golshani; K. R. C. Mok; W.B. de Boer; Jaber Derakhshandeh; et al 出版日期：2014-04-03 |
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