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Process variation-aware mask optimization with iterative improvement by subgradient method and boundary flipping
基于次梯度法和边界翻转迭代改进的过程变化感知掩模优化
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网址
DOI
10.1117/12.2552514 doi
其它 期刊:
作者:Rina Azuma; Yukihide Kohira; Tomomi Matsui; Atsushi Takahashi; Chikaaki Kodama
出版日期:2020-03-23
求助人
jun 在 2025-07-28 13:24:50 发布自安徽,悬赏 20 积分
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