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Depth profiling of AlN and AlxGa1−xN crystals by XPS using Al Kα and Ag Lα line excitation and Ar ion gas cluster ion source 使用Al K α和Ag L α线激发和Ar离子气体团簇离子源的XPS对AlN和AlxGa1-xN晶体进行深度剖析
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Oleksandr Romanyuk; J. Brault; Ivan Gordeev; Egor Ukraintsev; J. Houdková; et al 出版日期:2023-01-17 |
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